Ngoài ra, cần điều chỉnh lại cơ cấu và quy mô sử dụng đất tại một số khu chức năng; không xây dựng sân golf trong khu công nghệ cao... Phạm vi Khu công nghệ cao Hòa Lạc trên địa bàn các xã: Phú Cát (Quốc Oai), Tân Xã, Hạ Bằng, Thạch Hòa, Bình Yên, Đồng Trúc (Thạch Thất, Hà Nội).
Hiện nay, dân số, lao động trong Khu công nghệ cao khoảng 12.400 người. Dự báo quy mô dân số (đến năm 2030) sẽ khoảng 229.000 người, trong đó dân số thường trú khoảng 99.300 người